三星电子成立专职团队开展晶圆厂自动化机器人研发

Samsung 电子近日在半导体部门内部成立了一支专注于「晶圆厂机器人」研发的专职团队——AX/PI 团队，这标志着 Samsung 正式将机器人技术系统性引入半导体制造环节。根据报道，Samsung 电子于 9 月 1 日在设备解决方案（DS）部门旗下的全球制造与基础设施总管下，新设了「AX/PI 团队」。其中，AX 代表「AI 转型」（AI Transformation），PI 代表「流程创新」（Process Innovation），该团队的核心职责是晶圆厂自动化机器人的开发与导入。

新团队的成员主要来自原设备技术研究所的研究人员。该研究所曾负责设备与零部件的国产化及自动化研究，但于 2024 年组织调整后被缩减，硕士及博士级的研发人员分散至各制程技术组织。Samsung 将这批研究人员重新集结，于 2025 年底先行组建了任务小组（TF），并于 2026 年 9 月正式升格为常设组织。

Samsung 电子专注于晶圆厂机器人技术的发展

Samsung 电子泰勒晶圆厂 AX/PI 团队的首个重点研发方向是设备维护（PM，预防性维护），目前这一工作主要由合作厂商的现场工程师负责。业内人士推测，Samsung 正在开发的机器人形态可能与泛林研究（Lam Research）于 2024 年发布的设备维护协作机器人「Dextro」类似。Dextro 能够执行消耗品安装、螺栓紧固、部件清洗等精密重复性操作，可有效提升制程稳定性和良率。

对 Samsung 而言，用机器人替代人工进行这类维护作业，不仅能降低人力依赖，还能减少因人为操作波动带来的良率损失。

目前，Samsung 的机器人开发仍处于早期阶段。团队正在收集晶圆厂数据，研究机器人的运动路径、作业区域以及零部件存储规格。由于每台设备的部件位置和维护方式各不相同，在部署机器人之前，需要首先对作业流程进行标准化。有业内人士指出，晶圆厂的动线、设备和作业环境都是相对固定的，因此相比在非结构化环境中运行的通用人形机器人，晶圆厂自动化机器人的落地速度可能更快。

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