Samsung Electronics hat kürzlich innerhalb seiner Halbleitersparte ein eigenständiges Team namens AX/PI-Team gegründet, das sich auf die Entwicklung von „Fabrikrobotern" (Wafer Fab Robots) konzentriert. Dies markiert den Beginn der systematischen Einführung von Robotik in den Halbleiterfertigungsprozessen durch Samsung. Berichten zufolge richtete Samsung Electronics am 1. September unter der globalen Fertigungs- und Infrastrukturabteilung des Bereichs Device Solutions (DS) das neue „AX/PI-Team" ein. AX steht dabei für „AI Transformation" (KI-Transformation), PI für „Process Innovation" (Prozessinnovation). Die Kernaufgabe des Teams besteht in der Entwicklung und Einführung von Automatisierungsrobotern für Halbleiterfabriken.
Die Mitglieder des neuen Teams rekrutieren sich überwiegend aus Forschern des bisherigen Equipment Technology Research Institute. Dieses Institut war zuvor für die Lokalisierung und Automatisierung von Anlagen und Komponenten zuständig, wurde jedoch im Zuge einer organisatorischen Umstrukturierung im Jahr 2024 verkleinert, wobei promovierte und masterqualifizierte Forscher auf die verschiedenen Prozesstechnologie-Organisationen verteilt wurden. Samsung hat diese Forscher nun wieder zusammengeführt und bereits Ende 2025 eine Task Force (TF) gebildet, die im September 2026 in eine fest etablierte Organisation überführt wurde.
Samsung Electronics fokussiert Entwicklung von Fabrikrobotern
Der erste Schwerpunkt des AX/PI-Teams im Samsung-Werk in Taylor liegt auf der Anlagenwartung (PM, Preventive Maintenance), die derzeit hauptsächlich von Field Service Engineers externer Partner durchgeführt wird. Branchenkenner vermuten, dass die von Samsung entwickelte Roboterform dem von Lam Research im Jahr 2024 vorgestellten kollaborativen Wartungsroboter „Dextro" ähneln könnte. Dextro ist in der Lage, präzise repetitive Aufgaben wie die Installation von Verbrauchsmaterialien, das Anziehen von Schrauben und die Reinigung von Komponenten auszuführen, und kann so die Prozessstabilität und die Ausbeute deutlich verbessern.
Für Samsung bedeutet der Einsatz von Robotern anstelle menschlicher Arbeitskräfte bei solchen Wartungsarbeiten nicht nur eine geringere Personalabhängigkeit, sondern auch eine Reduzierung der durch schwankende manuelle Eingriffe verursachten Ausbeuteverluste.
Die Roboterentwicklung bei Samsung befindet sich derzeit noch in einem frühen Stadium. Das Team sammelt Fab-Daten und untersucht Bewegungspfade, Arbeitsbereiche und Spezifikationen für die Lagerung von Komponenten. Da sich Position und Wartungsverfahren der Teile von Anlage zu Anlage unterscheiden, müssen die Arbeitsabläufe vor dem Einsatz der Roboter zunächst standardisiert werden. Branchenexperten weisen darauf hin, dass die Verkehrswege, Anlagen und Arbeitsumgebungen in Halbleiterfabriken vergleichsweise fest definiert sind, weshalb die Einführung von Automatisierungsrobotern in Fabs möglicherweise schneller erfolgen könnte als die Markteinführung universeller humanoider Roboter, die in unstrukturierten Umgebungen agieren.
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